X射线能谱微区分析中出射角对X射线强度的影响
X射线能谱微区分析中出射角对X射线强度的影响仇满德 秦向东 白国义 翟永清 姚子华河北大学化学与环境科学学院,河北保定071002摘 要:利用SEM-EDS研究了硅衬底上Au、Cu薄膜发射的不同线系特征X射线相对强度间比值...
X射线能谱微区分析中出射角对X射线强度的影响仇满德 秦向东 白国义 翟永清 姚子华河北大学化学与环境科学学院,河北保定071002摘 要:利用SEM-EDS研究了硅衬底上Au、Cu薄膜发射的不同线系特征X射线相对强度间比值随出射角的变化规律,探讨了影响其变化的原因。结果显示:随着出射角变大,同一元素不同线系X射线相对强度间比值具有一定变化规律。低能量谱线的强度相对高能量谱线逐渐变大,这种变化主要是受X射线被基体吸收效应的影响所致。在低角度下,特别是在特征X射线全反射临界角附近,实际测得的低能量特征谱线的相对强度比预期要小,这是因为这些低能量谱线的波长较长,相对于这些谱线的全反射临界角较大,由膜内产生的低能量谱线,探测器无法探测到而引起。此项研究为X射线薄膜微区分析的定量计算提供依据。[著者文摘]

关键词:出射角 外全反射 SEM-EDS X射线强度 薄膜

分类号: TB383 TG115.215.3[著者标引]
文献标识码:A
文章编号:1000-6281(2010)05-0430-07
栏目信息:

相关文献:主题相关 全文快照   


Influence of exit angle on X-ray intensity in X-ray energy dispersive spectrometry microanalysisQIU Man-de,QIN Xiang-dong,BAI Guo-yi,ZHAI Yong-qing,YAO Zi-huaCollege of Chemistry and Environmental Science,Hebei University,Baoding Hebei 071002,China
  1  2  3  下页

验证码:        
版块示例
版块示例

版块示例

版块示例




© 2021 光学薄膜信息网    设置底部链接
Powered by DIY-Page 8.3