低压力下复杂结构真空容器容积比的测量方法研究
  真空容器容积比的测量方法通常有称重法和静态膨胀法。目前,复杂结构真空容器容积比主要是在较高的压力下通过气体静态膨胀进行测量。但当膨胀压力低于10-2Pa 时,真空容器器壁的放气会对容积比的测量带来很大...
  真空容器容积比的测量方法通常有称重法和静态膨胀法。目前,复杂结构真空容器容积比主要是在较高的压力下通过气体静态膨胀进行测量。但当膨胀压力低于10-2Pa 时,真空容器器壁的放气会对容积比的测量带来很大的影响。为了确保在膨胀前后气体量不改变,即减小在低压力下真空容器的放气对测量的影响,提出了利用非蒸散性吸气泵选择性抽气的特性,结合静态膨胀法利用惰性气体氩气(Ar)、氦气(He)来测量真空容器的容积比。
  引言
  复杂结构真空容器容积比的测量广泛应用于真空计量领域,例如真空检漏技术、高精度真空标准压力的产生、气体微流量测量校准技术等,这些技术都应用于航空、航天、制冷、高能物理等领域。使用称重法等对容积比进行测量时,通过测量容器装满液体(通常为水)前后的质量来测量容积比,但由于液体中的气泡和阀门死空间的影响,使得容积比的测量不够准确,对复杂结构的真空容器来说,由此引起的不确定度更大。使用静态膨胀法对容积比进行测量时,通常是在高压力的条件下测量真空容器容积比。为了保证真空容器容积比的测量结果的准确性,需要考虑真空容器器壁放气对测量结果的影响。
  在低压力的条件下,测量真空容器容积比会受到器壁放气的严重影响。文章提出利用非蒸散型吸气泵具有选择性抽气的特性,采用惰性气体作为实验膨胀气体,在低压力下对复杂结构真空容器容积比用静态膨胀法进行了精确测量研究。
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