取样管道对分子流气体分压力测量的影响
  在管道吸附作用非稳态气体分析研究的基础上,提出管道末端分子流气体以单位时间碰壁数进入质谱室,由真空系统抽除的物理机理,建立了第三类边界条件的气体在管道取样分压力分布的输运方程和质谱室抽气方程,...


图2 气体通过长园管道的输运示意图
  4、结论
  管道取样对于分压力测量会产生较大的影响,通过对分子流气体流态和管道取样物理过程分析,得到如下结论:
  (1)直接取样被测量气体进入具有抽速的质谱室,其管道内压力和管道位置及取样时间成复杂的指数关系,被分析气体在质谱室中的动态压力和测量时间也成复杂指数关系;
  (2)通过取样管道在质谱室中建立的平衡压力正比于取样点被测量气体的分压力;
  (3)管道取样改变了混合气体的分压力比值,在气体趋于稳定时,分压力比值和被测量气体的分子质量比的均方根成反比;
  (4)在取样相当长时间后,进入质谱室中的气体稳定,对于长园管道,其被测量的气体在质谱室中的分压力和管道长度成反比;
  (5)对于大抽速的质谱分析系统,质谱室中取样得到的稳定压力最短稳定时间和管道长度的平方成正比,同被测量气体平均速度成反比。
  取样管道对分子流气体分压力测量的影响
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