镀长波通,反射蓝绿色,镀后脱膜严重,求助
[i=s] 本帖最后由 charles2022 于 2018-5-13 13:01 编辑 用这个膜系Design: [tr][td=72]1[/td][td=72]SiO2[/td][td=72]76.09[tr][td=72]2[/td][td=72]TI3O5-HH[/td][td=72]23.94[tr][td=72]3[/td][td=72...
[i=s] 本帖最后由 charles2022 于 2018-5-13 13:01 编辑

用这个膜系Design: [tr][td=72]1[/td][td=72]SiO2[/td][td=72]76.09
[tr][td=72]2[/td][td=72]TI3O5-HH[/td][td=72]23.94
[tr][td=72]3[/td][td=72]SiO2[/td][td=72]86.27
[tr][td=72]4[/td][td=72]TI3O5-HH[/td][td=72]52.87
[tr][td=72]5[/td][td=72]SiO2[/td][td=72]69.92
[tr][td=72]6[/td][td=72]TI3O5-HH[/td][td=72]64.07
[tr][td=72]7[/td][td=72]SiO2[/td][td=72]85.38
[tr][td=72]8[/td][td=72]TI3O5-HH[/td][td=72]58.9
[tr][td=72]9[/td][td=72]SiO2[/td][td=72]83.24
[tr][td=72]10[/td][td=72]TI3O5-HH[/td][td=72]53.23
[tr][td=72]11[/td][td=72]SiO2[/td][td=72]213.95
因为有颜色要求780-1100低反。镀出客户基片来掉膜很厉害,好多小气泡一样。做测试的白玻璃表面不掉膜但是膜层很软。有没有知道的请指教。
补充;机器南光蒸发机1350 80度 基片亚克力 QQ 13893538.

  • wazxq  2018-6-8 16:47:31
    只能加离子源,还需要有些强度的霍尔源
  • zkyioe  2018-5-30 18:23:28
    加离子源试试,另外不加温不可以吗? sio2压应力太大了

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