专利名称双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值测量...
[backcolor=rgb(218, 252, 218)]专利名称双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值测量装置和方法[/backcolor][backcolor=rgb(218, 252, 218)]技术领域本发明涉及光学薄膜的光学性能评价,特别是一种双波长激光同时辐...
[backcolor=rgb(218, 252, 218)]专利名称双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值测量装置和方法[/backcolor]
[backcolor=rgb(218, 252, 218)]技术领域本发明涉及光学薄膜的光学性能评价,特别是一种双波长激光同时辐照下光学薄 膜损伤阈值的测量装置和方法。[/backcolor]
[backcolor=rgb(218, 252, 218)]背景技术在目前的国际标准ISO 11254-1中,仅存在一种波长激光辐照光学薄膜的测量装 置和评价体系。其基本方法为通过单个波长激光辐照薄膜,判断薄膜在某一能量密度E下 的损伤点个数S,一般测量10个点,则得到损伤发生的概率为P = S/10,随后改变其能量密 度^,氏...,而重新得到相应的损伤概率Pi,P2...,采取直线拟合所得损伤概率P和对应能 量密度数据点E可得到损伤阈值值①。而近年来随着各种激光器的发展和应用,很多光学 元件需要被不同波长激光同时辐照,因此对双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值的测量 要求也越来越迫切。而目前国内外尚没有对两个波长激光同时辐照下光学薄膜损伤阈值测 量装置和评价方法。[/backcolor]
[backcolor=rgb(218, 252, 218)]发明内容[/backcolor]
[backcolor=rgb(218, 252, 218)]本发明为了解决上述现有技术的不足,提供了一种双波长激光同时辐照下光学薄 膜损伤阈值的测量装置和测量方法。本发明的技术解决方案如下一种双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值测量装置,包括输出波长为\ X的第 一激光器和输出波长为入2的第二激光器,用于准直光路和协助监测损伤破坏的第三激光 器,一个位于移动平台上的待测样品,特点在于其构成是在所述的第一激光器输出的第一激光路上依次设置第一能量衰减器、第一分光镜 和第一透镜,波长为入工的激光辐照在所述的待测样品上,在所述的第一分光镜的反射光路 上设置第一能量计,用以测量波长为、!的激光能量;在所述的第二激光器输出的第二激光路上依次设置光路延时器、第二能量衰减 器、第二分光镜和第二透镜,波长为入2的激光辐照在所述的待测样品上,在所述的第二分 光镜的反射光路上设置第二能量计,用以测量波长为入2的激光能量;在所述的待测样品的表面空间设置CCD在线判断装置,所述的第一激光器、第二 激光器、第三激光器、(XD在线判断装置和移动平台通过通信线与计算机连接。所述的第一透镜和第二透镜都具有沿光轴方向的移动调节机构。所述的光路延时器由依次设置的第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射 镜形成的U形折叠光路构成所述的能量衰减器由可旋转的半波片和一个偏振片组成。所述的第一激光路和第二激光路还设置有适当的数量的反射镜,使第一激光路和 第二激光路的光程基本相等。利用上述的双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值的测量装置进行双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值的测量方法,包括下列步骤①调整光路调整所述的光路延时器,同时移动所述的第二反射镜和第三反射镜 的位置,使第一激光路和第二激光路的光程相等,即在所述的计算机的控制下,使Λ工激光 和Λ 2激光同时辐照在所述的待测样品上;②通过所述的第一透镜和第二透镜的移动调节机构,调整所述的第一透镜和第二 透镜的位置,使所述的X1激光和Λ2激光辐照在所述的待测样品上的的光斑大小相同;③进行单波长激光辐照光学薄膜损伤阈值测量启动计算机并控制所述的第二激 光器、移动平台、第三激光器、第二能量计和CCD在线判断装置,实施单个波长Λ 2激光,按 国际标准IS011254-1测量Λ 2激光单独辐照下待测样品的损伤阈值Φ Λ2 ;④进行双波长激光辐照光学薄膜损伤阈值测量启动计算机并控制第一激光 器、第二激光器、移动平台、第三激光器、第一能量计、第二能量计和CCD在线判断装置,选 取波长X1激光能量密度为固定值,施加波长Λ2激光同时辐照待测样品,按照国际标准 IS011254-1进行测量,通过所述的CCD在线判断装置即时判断待测样品薄膜在某一能量密 度E下的损伤点个数S, 一般测量10个点,则得到损伤发生的概率为P = S/10,随后改变其 能量密度E1, E2...,重新得到相应的损伤概率P1, P2...,在E-P平面坐标中,绘制数据点,采 取直线拟合,该直线与能量密度坐标轴的交点就是损伤阈值值Φ,即波长Λ工激光固定能量 密度下的双波长激光同时辐照的损伤阈值;⑤改变波长Λ工激光能量密度,重复步骤④得到波长X1激光不同能量密度下,双 波长激光入工和人2同时辐照下的损伤阈值Φλ1+Λ2;⑥采用阈值差比较法来判定不同波长激光在光学薄膜损伤中的贡献,即Λ工和Λ 2
  1  2  3  4  5  6  7  8  下页

验证码:        
版块示例
版块示例
版块示例
版块示例
© 2021 光学薄膜信息网    设置底部链接
Powered by DIY-Page 8.3