专利名称双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值测量...
[backcolor=rgb(218, 252, 218)]专利名称双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值测量装置和方法[/backcolor][backcolor=rgb(218, 252, 218)]技术领域本发明涉及光学薄膜的光学性能评价,特别是一种双波长激光同时辐...
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[backcolor=rgb(218, 252, 218)]权利要求[/backcolor]
[backcolor=rgb(218, 252, 218)]一种双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值的测量装置,包括输出波长为Λ1的第一激光器(2)和输出波长为Λ2的第二激光器(3),用于准直光路和协助监测光学薄膜损伤破坏的第三激光器(7),一个位于移动平台(27)上的待测样品(28),特征在于其构成是在所述的第一激光器(2)输出的第一激光路(4)上依次设置第一能量衰减器(8)、第一分光镜(20)和第一透镜(12),波长为Λ1的激光辐照在所述的待测样品(28)上,在所述的第一分光镜(20)的反射光路上设置第一能量计(10),用以测量波长为Λ1的激光能量;在所述的第二激光器(3)输出的第二激光路(5)上依次设置光路延时器(6)、第二能量衰减器(9)、第二分光镜(21)和第二透镜(13),波长为Λ2的激光辐照在所述的待测样品(28)上,在所述的第二分光镜(21)的反射光路上设置第二能量计(11),用以测量波长为Λ2的激光能量;在所述的待测样品(28)的表面空间设置CCD在线判断装置(14),所述的第一激光器(2)、第二激光器(3)、第三激光器(7)、CCD在线判断装置(14)和移动平台(27)通过通信线与计算机(1)连接。[/backcolor]
[backcolor=rgb(218, 252, 218)]2.根据权利要求1所述的双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值的测量装置,其特征 在于所述的第一透镜(12)和第二透镜(13)都具有沿光轴方向的移动调节机构。
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