专利名称双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值测量...
[backcolor=rgb(218, 252, 218)]专利名称双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值测量装置和方法[/backcolor][backcolor=rgb(218, 252, 218)]技术领域本发明涉及光学薄膜的光学性能评价,特别是一种双波长激光同时辐...
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[backcolor=rgb(218, 252, 218)]具体实施例方式下面结合实施例和附图对本发明做进一步的说明,但是不应以此限制本发明的保护范围。先请参阅图1,图1是本发明双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值测量装置实 施例1的结构示意图,由图可见,本发明双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值的测量装 置,包括输出波长为X1的第一激光器2和输出波长为Λ 2的第二激光器3,用于准直光路 和协助监测损伤破坏第三激光器7,一个位于移动平台27上的待测样品28,其构成是在所述的第一激光器2输出的第一激光路上依次设置第一能量衰减器8、第一分 光镜20和第一透镜12,波长为Λ工的激光辐照在所述的待测样品28上,在所述的第一分光 镜20的反射光路上设置第一能量计10,用以测量波长为Λ工的激光能量;在所述的第二激光器3输出的第二激光路上依次设置光路延时器6、第二能量衰 减器9、第二分光镜21和第二透镜13,波长为Λ 2的激光辐照在所述的待测样品28上,在 所述的第二分光镜21的反射光路上设置第二能量计11,用以测量波长为Λ2的激光能量;在所述的待测样品28的表面空间设置CXD在线判断装置14,所述的第一激光器 2、第二激光器3、第三激光器7、(XD在线判断装置14和移动平台27通过通信线与计算机1 串口连接。本实施例中,在第一激光器2和第一能量衰减器8之间还有第七反射镜23,在第一 分光镜20和第一透镜12之间设有第八反射镜24,所述的光路延时器6由依次设置的第一 反射镜15、第二反射镜16、第三反射镜17和第四反射镜18形成的U形折叠光路构成,在所 述的光路延时器6和第二能量衰减器9之间有第五反射镜19,在所述的第二分光镜21和第 二透镜13之间有第六反射镜22。所述的光路延时器6的调节,以保证Λ工激光和Λ 2激光 到达待测样品28的时间一致。此方法比较简单,易于操作,在误差范围内可以保证两束激 光到达待测样品的时间差小于0. 1ns,对于纳秒量级的激光的要求已经足够。而对于延时精 确度较高的如飞秒脉冲激光,可用电移平台的方法来实现光路延时。为保证两束激光光斑 大小等参数的一致性,不同波长入工和Λ 2激光经过第一透镜12,和第二透镜13后入射到 待测样品28上的角度差不宜过大,最好在5°以内。 所述的第一能量衰减器8和第二能量衰减器9由可旋转的半波片和一个偏振片组 成。请参阅图2,图2是本发明实施例2的结构示意图,是用于1064nm和355nm纳秒量 级激光同时辐照待测样品损伤阈值的测量装置的结构示意图。图2中1为计算机,26为基模(TEMJ Nd: YAG激光器,可输出基频波长为1064nm纳 秒量级激光,经过内置KTP晶体倍频后,形成偏振方向和1064nm激光垂直的532nm倍频激 光,再经过BBO晶体可得到355nm三倍频激光。7为He-Ne激光器,用来准直光路和帮助对 损伤过程的实时监测,该激光器输出632. Snm连续激光,经过反射镜39和反射镜40到达待 测样品28的表面。所述的1064nm、532nm、355nm混频激光经过三倍频激光分离膜31。其中 1064nm和532nm倍频激光沿着图中所示光路30传播,1064nm激光和532nm倍频激光经过 倍频激光分离膜37后,分离出532nm激光27,采用泡沫板装置42对532nm倍频激光进行回 收。随后得到的1064nm激光经过第一能量衰减器8,波长1064nm激光经过第一分光镜20, 由第一能量计10测量,经过反射镜41后由第一透镜12会聚到待测样品28上。
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